德林新材料 供应调节剂 膦酰基丁烷三羧酸 Derin 7000

膦酰基丁烷三羧酸是上世纪八十年代发明的新一代膦羧酸，含多个羧基的**膦酸，工业生产中以二烷基亚磷酸酯、顺丁烯二酸二烷酯，以及丙烯酸烷酯等为原料，在强碱性催化条件下，经一步连续反应合成的。

蚀刻铜钼合层的过硫酸铵体系蚀刻液中其起到两方面作用，一是膦酰基丁烷三羧酸可以螯合铜钼离子，适当调节铜钼离子的活性，从而不会因为随着蚀刻的继续，铜钼离子的升高而明显改变蚀刻液的蚀刻活性。二是膦酰基丁烷三羧酸可以作为本发明的pH值调节剂，调剂蚀刻液的pH值在蚀刻过程中始终稳定在一个较小的范围内，有利于蚀刻过程的稳定，提高蚀刻液的稳定性和寿命。膦酰基丁烷三羧酸的添加量为药剂的0.1％～10％。